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青岛国林半导体技术有限公司

  • 2025-09-05

青岛国林半导体技术有限公司


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 国林半导体是青岛国林科技集团股份有限公司(股票代码:300786)控股子公司,基于国林科技集团在臭氧机理研究的技术优势和技术沉淀,开发出半导体行业专用的高浓度、高纯度、高可靠性的臭氧发生器和各品类机能水设备,已经为半导体、面板显示以及光伏等行业众多知名客户提供臭氧设备,实现国产化替代。

       公司将紧跟半导体行业的需求,不断创新和提升半导体臭氧装备技术水平,以客户需求为导向,提供臭氧应用系统解决方案,为半导体设备国产化发展做出贡献。

青岛国林半导体技术有限公司是青岛国林科技集团股份有限公司(股票代码:300786)的全资子公司‌
成立于2021年12月10日,总部位于青岛市崂山区株洲路188号甲‌。公司专注于半导体、光伏、面板显示等领域的臭氧应用系统解决方案,主要产品包括半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧水杀菌系统等‌


核心业务与技术优势

  1. ‌产品体系‌

    • 半导体级臭氧设备:覆盖化学气相沉积(CVD)、晶圆清洗、光刻胶去除等工艺‌

    • 臭氧水系统:采用纳米气泡混合技术,浓度可达0.1-10ppm,适用于电子行业杀菌清洗‌。

    • 配套系统:包括臭氧气体输送、尾气分解及浓度检测装置‌

  2. ‌技术能力‌

    • 基于母公司国林科技的臭氧技术积累,实现高浓度、高纯度臭氧设备的国产化替代‌。

    • 拥有6项专利及6项软件著作权,参与制定半导体级臭氧发生器行业标准‌