产品规格

产品名称：Corning® OptiGrade™ Calcium Fluoride（氟化钙 CaF₂单晶毛坯）物料基础代码：Code 9575品质等级型号：OP-1 / OP-2 / OP-3 / OP-5化学成分：氟化钙 CaF₂，高纯单晶萤石晶体晶体结构：立方晶系，萤石结构透光波段：深紫外 130nm ~ 红外 7μm折射率（193nm）：1.560阿贝数：95.9光学均匀性（P-V）

• OP-1：≤5 ppm

• OP-2：≤2 ppm

• OP-3：≤3 ppm

• OP-5：按需定制指标应力双折射（P-V）

• OP-1：≤5 nm/cm

• OP-2：≤2 nm/cm

• OP-3：≤3 nm/cm激光耐受：适配 193nm ArF 光刻短波激光，抗辐照，低色心生成毛坯形态：圆形平片毛坯，可定制直径、厚度，可做异形坯料表面预处理：预加工毛坯面，预留后续研磨抛光余量热膨胀系数：18.9 ×10⁻⁶ /K熔点：1418℃硬度：莫氏 4 级化学特性：化学惰性，耐酸碱，低吸湿可选配套等级：Laser Durable Grade™（LDG 激光耐久级氟化钙，更高抗激光辐照）工作环境：半导体光刻镜头、深紫外激光光路存储条件：常温干燥环境，避免表面划伤、污染

产品特点

1. 超高纯度单晶生长工艺，杂质含量极低，深紫外高透过；

2. 多光学等级可选，OP-2/OP-1 满足高端光刻成像的均匀性与低应力要求；

3. 预成型镜片毛坯交付，减少镜头厂商加工工序；

4. 优异短波激光耐受能力，抵抗紫外激光长期辐照损伤；

5. 宽光谱透过，从深紫外延伸至中红外，成像畸变小；

6. 物理化学稳定，不易潮解，适配光刻机内部长期工作环境；

7. 可定制毛坯直径、厚度，圆形、矩形坯料均可定制。

产品描述

Corning® OptiGrade™氟化钙是康宁先进光学的超高纯氟化钙单晶材料（CaF₂），专为光刻短波激光、高功率激光光学与精密成像设计，透光范围覆盖深紫外至红外波段，材料透明度高、抗激光损伤、化学稳定。康宁将晶锭加工成预处理镜片空白毛坯（pre-finished blanks），可直接研磨加工成光刻镜头光学元件，是半导体光刻系统核心晶体组件。OP 系列按均匀性、应力双折射划分光学等级，满足不同光刻成像精度需求。