成功案例

公司聚焦于集成电路光学量检测系统设计与系统集成，围绕集成电路装备自主化，已经形成了服务于芯片制造、掩模制造、晶圆衬底制造、基板制造四大领域九大类量测及检测产品。

公司深耕晶圆传输设备整机模块及关键零部件的研发和生产，自主研发的产品包括晶圆前端传输模块（EFEM）、晶圆分选机（SORTER）、晶圆存储系统（STOCKER）、自动物料搬运系统（AMHS）和传输领域关键零部件，拥有多项核心关键技术，填补了国内空白，为国内集成电路传输设备…

公司专注于半导体检测设备的研发与生产，致力于通过非线性光学晶圆检测技术实现晶圆的无损、快速内部缺陷检测，其核心产品包括ASPIRER 3000非线性光学晶圆缺陷检测系统等‌

主营业务‌：半导体设备（如外延沉积设备EPI、原子层沉积设备ALD等）、电子制造设备的研发与生产，产品覆盖半导体制造全产业链，目标实现100%国产化‌

主要产品有单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备、前道涂胶显影设备及PECVD设备等

公司专注于半导体、光伏、面板显示等领域的臭氧应用系统解决方案，主要产品包括半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧水杀菌系统等‌

公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备、次常压化学气相沉积(SACVD)设备、高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)设备、超高深宽比沟槽填充（Flowable CVD）设备和先进键合(W2W / D2W Hybrid Bonding) 设备以及相关量测设备等系列，拥有…

中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。

北方华创主营半导体装备、真空及锂电装备、精密元器件业务，为半导体、新能源、新材料等领域提供解决方案。公司现有六大研发生产基地，营销服务体系覆盖欧、美、亚等全球主要国家和地区。

产品范围：设备产品包括无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、三维形貌量测设备、介质薄膜膜厚量测设备等；软件产品为良率管理系统软件 IVY-DMS/YMS，能够在检测和量测设备的基础上进一步为客户在良率管理中赋能。

产品范围：公司主要产品为硅基半导体、化合物半导体及光伏领域湿法清洗设备，具体可分为硅基半导体湿法清洗设备、化合物半导体湿法清洗设备、光伏湿法设备及相关辅机与配件。

产品范围：在半导体洁净室领域，有风机过滤单元（FFU）、设备自带风机过滤单元（EFU）、化学过滤器等产品；在生物安全医疗及 GMP 制药领域，有层流罩、袋进袋出防护系统（BIBO）、生物安全柜等；在商用人居领域，有静电过滤器、空气净化机、除油烟静电过滤设备等。