美国 CORNING 康宁半导体晶圆检测紫外物镜 Tropel μCAT

货号: #Tropel μCAT

库存: 100

品牌: 美国CORNING康宁

¥20000.00 ¥15000.00

简介

美国 CORNING 康宁 Tropel μCAT 系列紫外显微物镜，为折反射式光学结构，专为半导体晶圆、掩模紫外检测开发。

分类: 电子元器类, 美国CORNING康宁,

产品详情

产品描述

美国 CORNING 康宁 Tropel μCAT 系列紫外显微物镜，为折反射式光学结构，专为半导体晶圆、掩模紫外检测开发。μCAT 设计具备充足带宽，可适配基于灯源的检测系统，无需昂贵激光光源，有效降低整套设备成本。物镜集成装配完成，采用 HPFS 熔融硅与氟化钙晶体作为光学镜片基材，紫外波段成像质量优异，像差校正精良，广泛用于半导体明场检测、缺陷检查，是 Tropel 品牌经典半导体检测光学镜头。

产品规格

产品系列 Tropel μCAT™，主流子系列为 PANTHER；光学类型为折反射紫外显微物镜；典型工作波长 248nm；典型数值孔径 0.75NA；光学基材采用 HPFS 熔融硅 7980、氟化钙 CaF₂ Code9575；全套镜头预装配完成，带金属镜筒；支持灯源照明系统，不强制依赖激光光源；优异紫外透过率，像差经过全光路校正；低散射、低缺陷光学镜片；适配半导体晶圆、掩模缺陷检测平台；具备标准化机械安装接口；可提供原厂测试数据报告；不同 NA、工作距离规格对应不同 PN 订货号。