美国 CORNING 康宁双面同步厚度平行度检测仪 Tropel FlatMaster MSP-DH

货号: #Tropel FlatMaster MSP-DH

库存: 100

品牌: 美国CORNING康宁

¥20000.00 ¥15000.00

简介

美国 CORNING 康宁 Tropel FlatMaster MSP 多面剖面仪，属于频率步进干涉仪，专为最大直径 300mm 半导体晶圆开发，可实现快速高精度计量。

分类: 电子元器类, 美国CORNING康宁,

产品详情

产品描述

美国 CORNING 康宁 Tropel FlatMaster MSP 多面剖面仪，属于频率步进干涉仪，专为最大直径 300mm 半导体晶圆开发，可实现快速高精度计量。仅需数秒，就能以亚微米精度采集最高 300 万个数据点，完成工件全表面厚度与平面度表征。MSP-DH 版本可同步测量组件双面，直接获取绝对厚度和平行度参数，适配玻璃晶圆、硅晶圆、透明材料与复杂组件计量，满足 3DIC 组件集成检测需求，解决传统探针、传统干涉仪速度慢、大视场精度不足的痛点。

产品规格

产品系列 Tropel® FlatMaster® MSP，包含基础版 FlatMaster MSP 与双面版 FlatMaster MSP-DH；测量原理为频率步进干涉法；最大待测工件直径 300mm；单次测量耗时仅数秒；亚微米级测量精度；单轮采集最多 300 万个数据点；可测参数包含全表面平面度、总厚度、厚度波动、平行度；MSP-DH 支持工件双面同步采集，直接计算绝对厚度与两面平行度；适配硅晶圆、玻璃晶圆、透明光学基板、复杂光学组件；整机搭载专用计量软件，自动生成面型图谱与检测报告；非接触式光学测量，无样品划伤风险；大视场检测，适配 3DIC 封装组件质检。