美国 CORNING 康宁 200 光罩平面度干涉测量系统 Tropel UltraFlat 200

货号: #Tropel UltraFlat 200

库存: 100

品牌: 美国CORNING康宁

¥20000.00 ¥15000.00

简介

美国 CORNING 康宁 Tropel UltraFlat 200 超平 200 面罩系统，专为半导体光罩行业设计，用于光砂与光掩模的平整度检测，覆盖基底抛光、涂层、图案化、胶片应力分析与验证等全生产阶段。

分类: 电子元器类, 美国CORNING康宁,

产品详情

产品描述

美国 CORNING 康宁 Tropel UltraFlat 200 超平 200 面罩系统，专为半导体光罩行业设计，用于光砂与光掩模的平整度检测，覆盖基底抛光、涂层、图案化、胶片应力分析与验证等全生产阶段。设备采用近正向入射干涉测量、相位移相分析软件，实现低至 20 纳米的测量不确定度，满足严苛的掩模平面度检测需求。整机可溯源 NIST 美国国家标准与技术研究院，测量数据符合 SEMI 行业标准，支持自动化光罩上下料与全自动测量配置。

产品规格

产品系列 Tropel® UltraFlat™，标准型号 UltraFlat 200；测量对象为 200 规格光掩模（光罩）；测量原理为近正向入射移相干涉测量；测量不确定度 20nm；用于检测光罩平面度、胶片应力；覆盖基底抛光、镀膜、图形化全工序检测；测量数据可溯源 NIST 标准，满足 SEMI 规范；搭载 Tropel 相位移相分析软件，自动输出面型报告；支持自动化机械手处理光罩，全自动测量流程；设备结构稳固，光学制造工艺先进，长期测量稳定性强；非接触式光学测量，保护精密光掩模样品。