美国 CORNING 康宁半自动晶圆面型分拣检测系统 Tropel UltraSort II FlatMaster

货号: #Tropel UltraSort II FlatMaster

库存: 100

品牌: 美国CORNING康宁

¥20000.00 ¥15000.00

简介

美国 CORNING 康宁 Tropel UltraSort™ II FlatMaster 半自动晶圆检测系统，属于晶圆面型快速干涉计量分拣设备，集成 FlatMaster 干涉测量核心光学模块，适配半导体硅晶圆、玻璃晶圆来料检测与自动分拣工序。

分类: 电子元器类, 美国CORNING康宁,

产品详情

产品描述

美国 CORNING 康宁 Tropel UltraSort™ II FlatMaster 半自动晶圆检测系统，属于晶圆面型快速干涉计量分拣设备，集成 FlatMaster 干涉测量核心光学模块，适配半导体硅晶圆、玻璃晶圆来料检测与自动分拣工序。采用非接触光学干涉测量技术，快速采集晶圆全表面平面度、厚度、翘曲度等关键参数，根据预设指标自动完成晶圆分级分拣。半自动上料设计兼顾产能与灵活性，具备高测量重复性，可溯源 NIST 标准，满足半导体产线大批量晶圆质检、分选需求，广泛用于晶圆制造、抛光、来料入库环节。

产品规格

产品型号 Tropel® UltraSort™ II FlatMaster；设备类型为半自动晶圆面型分拣干涉测量系统；核心光学模块沿用 FlatMaster 干涉技术；支持硅晶圆、玻璃晶圆等半导体基板；采用非接触式光学干涉测量，无探针接触损伤样品；可测量参数包含晶圆整体平面度、局部平整度、厚度、厚度变化、翘曲度、弯曲度；具备自动判定与晶圆分拣功能，按照设定规格自动分级；半自动工件装载机构，人工辅助上下料，自动定位与测量；配套 Tropel 专业计量软件，实时显示二维面型云图，自动导出检测报告；测量数据可溯源 NIST，符合 SEMI 半导体行业标准；具备稳定的机台减震结构，保障长时间连续测量重复性；支持产线批量连续检测，适合中高流量晶圆来料质检工序。