产品描述
美国 CORNING 康宁 Tropel FlatMaster 系统，采用非接触光学干涉测量技术，专为精密光学元件制造商开发，可在数秒内完成全表面采集测量。设备可检测表面平坦度、线条轮廓、曲率半径等各类表面参数，分辨率可达 5 纳米，标准测量精度 50 纳米。包含多款标准机型适配不同待测件尺寸，也支持定制升级动态范围、测量精度、自动工件处理等功能，广泛用于光学元件、半导体晶圆等高精度面型检测场景。
产品规格
产品系列 Tropel® FlatMaster®，标准型号分为 FlatMaster 40、FlatMaster 100、FlatMaster 200；FlatMaster40 适配最大 40mm 待测工件，FlatMaster100 适配最大 100mm 待测工件，FlatMaster200 适配最大 200mm 待测工件；测量原理为非接触式光学干涉测量；分辨率 5nm；标准测量精度 50 纳米（2.0μ"）；可测参数包含表面平面度、轮廓形貌、曲率半径、表面起伏等；单次全表面测量仅需数秒；无接触测量，不会划伤样品表面；可定制版本可提升动态范围与测量精度，可选配自动元件处理模块；配套专业测量分析软件，支持数据导出与报告生成；整机集成光学主机、工控系统、操作终端。
产品特点
非接触光学测量，检测速度快，几秒完成整个表面采集
超高 5 纳米分辨率，标准测量精度可达 50 纳米
三款标准机型，对应 40/100/200mm 不同尺寸工件
可同时检测平面度、轮廓、曲率半径等多种表面参数
支持定制开发，可升级精度、动态范围与自动化上料功能
Tropel 经典干涉检测平台，长期用于高端光学与半导体行业
