产品描述
美国 CORNING 康宁 Tropel UltraSort™ II 是半导体晶圆专用半自动干涉计量分拣系统，搭载成熟的 FlatMaster 干涉测量光学内核，用于硅晶圆、玻璃晶圆等基板的批量快速面型检测与自动分级分拣。设备采用非接触式光学干涉技术，可快速采集晶圆全表面形貌数据，一次性获取平面度、厚度、厚度偏差、翘曲度、弯曲度等多项关键参数，依据预设规格自动判定晶圆等级并完成分拣。半自动上料结构，人工辅助上下料，自动定位、测量、数据记录，测量结果可溯源 NIST，符合 SEMI 标准，适合晶圆制造、抛光工序、来料入库的批量质检场景。
产品规格
产品型号 Tropel® UltraSort™ II；设备类型为半自动晶圆干涉计量分拣系统；测量原理为非接触移相干涉测量；兼容样品包含硅晶圆、玻璃晶圆、透明基板；可测量参数有全局平面度、局部平整度、晶圆厚度、厚度变化量、翘曲度、弯曲度；具备自动判级与晶圆分拣功能，可自定义规格阈值；半自动装载机构，人工上料，设备自动定位、测量、卸料；配套 Tropel 专用计量分析软件，实时生成二维面型云图，支持批量数据存储与检测报告导出；测量数据可溯源 NIST 国家标准，满足 SEMI 半导体行业规范；设备自带减震基座，保障长时间连续测量的重复性与稳定性；支持产线连续批量检测，适配中高通量晶圆质检；光学核心源自 FlatMaster 系列，测量精度一致性好。
产品特点
搭载 FlatMaster 干涉光学核心，面型测量精度稳定可靠
半自动操作模式，兼顾检测产能与产线使用灵活性
非接触光学检测，不会损伤抛光后的精密晶圆表面
单次测量输出多维度晶圆参数，自动判定并分拣晶圆等级
计量数据可溯源 NIST，检测报告符合 SEMI 行业标准
专业可视化分析软件，支持质量追溯与批量数据管理
