产品描述
美国 CORNING 康宁 LDG™氟化钙晶体(Code9575),激光器耐用等级 CaF₂,依托康宁 50 多年氟化晶体专属生长工艺,拥有极强激光辐射耐久性能,适配高强度准分子激光长期照射,提升光学元件寿命与设备稼动率。产品多用于半导体光刻、眼科视力矫正、工业紫外激光等场景,毛坯与精加工成品件均采用干涉仪、光学剖面仪逐件检测,可按需定制外形、表面处理与光学镀膜,保证高透光、高反射等光学指标。
产品规格
基础材料代码 Code9575,材料等级 LDG™激光器耐用级氟化钙 CaF₂;光谱透射覆盖 0.13μm~9μm,深紫外至宽红外波段高透过;单晶体结构,晶体纯度高,杂质吸收极低,抗激光辐照损伤,辐射耐久性能优异;毛坯尺寸可定制,支持大规格晶体毛坯;晶向可选 <111>、<100>、<110>;光学面型最高可达 λ/10@193nm;表面粗糙度 Ra 最低 0.1nm;可加工平面、棱镜、透镜、窗口片等多种几何外形;支持增透膜、高反膜、部分反射膜等定制镀膜;化学性质稳定,材料惰性,环境适应性强;折射率均匀性优异,满足光刻准分子激光严苛光学指标;交付形态可选晶体毛坯、半成品、精密抛光成品光学件。
产品特点
自研专用晶体生长工艺,激光辐照耐久性能突出,适配高能量激光长时间工作场景
出厂全项精密检测,干涉仪、光学剖面仪逐件校验光学指标
可定制各类光学镀膜,满足高透射、高反射、分光等不同光学需求
深紫外到红外宽波段优异透光能力,适配准分子光刻等紫外光学系统
化学稳定性强,耐环境老化,延长光学器件使用寿命
毛坯、半成品、精加工成品多种交付形态可选