产品描述
美国 CORNING 康宁半导体元件光学，采用氟化钙、HPFS 熔融硅、ULE 超低膨胀玻璃基材，加工成透镜、反射镜、光学窗口、光学平面等光学元件。材料经过光学性能优化，具备优异透光率、折射率均匀性、低径吸收能力，适配半导体制造光刻设备。可提供毛坯、半成品、精密抛光成品，支持定制面型、粗糙度、光学镀膜，满足 ArF/KrF、EUV 光刻等严苛半导体光学场景。
产品规格
可选基材：LDG™ CaF₂氟化钙（Code9575）、HPFS 熔融硅（7980/7979/8655）、ULE 超低膨胀玻璃（7972/7973）；元件类型：透镜、反射镜、光学窗口、光学平面件；光学指标随基材选型区分，可定制面型精度、表面粗糙度；可按需定制各类增透、高反光学镀膜；毛坯支持大尺寸规格，可按图纸加工圆形、异形光学件；低杂质、低散射，折射率均匀性优异；低应力双折射，热稳定性能优异；出厂干涉仪全检，保障半导体设备高精密光学要求；交付形态包含毛坯、半成品、精加工抛光成品。
产品特点
多基材可选，覆盖准分子光刻、EUV 极紫外光刻不同波段需求
优化透射率、均匀性与径吸收，适配半导体高精度光学系统
支持透镜、窗口、反射镜、光学平面多种元件形态加工
大尺寸毛坯制造能力，可定制化加工各类光学外形
严苛出厂光学检测，性能稳定，批次一致性好
可定制抛光等级与光学镀膜方案
