产品描述
美国 CORNING 康宁大型光学元件，采用 HPFS 高纯度熔融硅、氟化钙、ULE 超低膨胀玻璃基材，可制作大尺寸曲面镜、棱镜、大型窗口与光学基板。HPFS7980 可加工多种大规格尺寸，HPFS7979 专为 193nm 及以上波长高功率光学场景设计，材料纯度高、散射低，具备优异光学均匀性与热稳定性，支持复杂曲面、异形光学件成型，可用于天文、半导体光刻、大型激光系统。可提供毛坯、半成品、超精密抛光成品，按需定制面型、粗糙度与光学镀膜。
产品规格
可选基材：HPFS 熔融硅（7980 /7979 /8655）、LDG™CaF₂氟化钙（Code9575）、ULE 超低膨胀玻璃（7972/7973）；产品形态：大型反射镜坯、曲面光学件、大口径窗口、大型棱镜、光学基板；HPFS7980 支持多种大尺寸成型；HPFS7979 适配波长≥193nm 高功率光学系统；HPFS8655 拥有高紫外激光损伤阈值；ULE 系列近零热膨胀，温度变化下尺寸稳定性极强；氟化钙适合深紫外准分子光路；材料低杂质、低气泡条纹，折射率均匀性优异；低应力双折射；可定制自由曲面、球面、平面等各类面型；表面粗糙度、抛光等级可按项目需求定制；支持各类光学镀膜；毛坯、半成品、超精密抛光成品多种交付形态。
产品特点
支持超大口径坯料制造，可加工曲面、棱镜、大窗口等复杂光学结构
多基材方案，覆盖紫外、深紫外、EUV、天文光学不同场景
高纯度材料，低散射、低缺陷，保障大口径光路成像质量
HPFS7979 专门针对 193nm 以上高功率激光工况优化
ULE 基材近乎零热膨胀，适合温度敏感型高精度光学系统
成熟大尺寸光学加工工艺，可完成超精密抛光
