产品描述

日本 Photonic Lattice（光子晶格）PA-300-XL 二维双折射评估系统，为 PA-300 系列超大台面低相位差检测机型，搭载 500 万像素偏振传感器，采用 520nm 单波长，专为低位相差样品高精度测量设计。整机无旋转偏振片结构，设备稳定、维护简便，单次全视场测量约 10 秒。配套 PA-View 专业分析软件，支持相位差云图、线剖面、ROI 区域统计、CSV 数据导出，选配模块可直接换算残余应力 MPa，支持 API 远程对接，适合超大尺寸透明板材、大板玻璃、大规格晶圆的低应力质检与材料研发。原装进口精密光学测量仪器，专注低双折射样品高精度成像检测。

产品规格

• 型号：PA-300-XL

• 品牌：Photonic-Lattice（光子晶格，日本）

• 机型说明：PA-300 系列超大载台版本，用于超大尺寸低相位差样品检测

• 测量波长：520nm（单波长）

• 相位差测量范围：0~130nm（低位相差专用）

• 传感器像素：2056 × 2464（约 500 万像素）

• 标准镜头视场：242×290mm ~ 360×480mm（A3 幅面超大视野）

• 最小分辨率：0.001nm

• 重复精度：＜1.0nm

• 测量时间：约 10s / 全视场

• 输出参数：相位差 (nm)、光轴角度 (°)；应力 MPa（选配数据处理模块）

• 配套软件：PA-View，支持云图、剖面分析、ROI 统计、CSV 导出、远程 API

• 整机尺寸（宽 × 深 × 高）：650 × 650 × 最大 1930 mm

• 整机重量：约 46kg

• 供电：AC100～240V（50/60Hz），最大 6.0A

• 信号接口：GigE

产品总结

PA-300-XL 是日本光子晶格 PA-300 系列超大视野二维双折射 / 残余应力成像测量系统，核心为 500 万像素高分辨率传感器，专门针对低相位差样品检测。超大样品台，最大可测 360×480mm 大板试样，无旋转光学部件，运行稳定。配套 PA-View 分析软件输出高精度相位差分布云图，选配应力换算模块，适合大板玻璃、SiC / 蓝宝石大晶圆、大面积光学基板等低应力工件的品质检测。

应用场景

1. 玻璃材料：大尺寸盖板玻璃、车载玻璃、光学板材低残余应力检测

2. 半导体晶圆：大尺寸 SiC 晶圆、蓝宝石基板低双折射检测

3. 光学元件：大面积光学平板、大规格透明基板应力均匀性评估

4. 光学薄膜：大幅面低相位差光学膜的微小相位差分布检测

5. 科研实验室：超大尺寸透明材料低应力分布、热处理应力研究

6. 精密光学：大尺寸光学窗口板、光学毛坯的微小双折射缺陷筛查